يقدم هذا الجزء من المواصفة ISO 14952 دليلًا إرشاديًا مرتبطًا بالعمليات المستخدمة لتجفيف الأجزاء والمكونات التي يتم تعريضها لعمليات التنظيف بالمذيبات أو بالماء؛ كما أنها تحدد عمليات التجفيف التي يمكن استخدامها للمعدات التي يتم تنظيفها لغرض الاستخدام في معدات الاستناد الأرضي ومركبات الإطلاق والسفن الفضائية. يمكن استخدام التنظيف الهوائي الجاف لإزالة الموائع المحجوزة من الأجزاء المتشابكة في حال عدم كفاءة طرق التطهير العادية.